關鍵尺寸|特徵尺寸:在積體電路領域，特徵尺寸是指半導體器件中的最小尺。,三扇門問題

關鍵性長寬Critical Dimen關鍵尺寸sion，縮寫ROM)：半導體器件白光掩模生產光刻手工中會作為評估結果調節生產工藝。

為客戶提供光電工業優秀晶片檢測所需要進行之重要尺碼測譬如一流芯片之線離、線寬及非輕薄聚合物長度，幫助增進電子元件優秀矽之數量量度產品品質，大幅提升積體電路良品率。

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